高真空での各種実験?開発?生産プロセスに対応。
■空冷式により水配管不要、保守の負擔を軽減。
■場所を選ばない100V 電源。
■メインフレーム?ベースにアルミを採用、軽量化を実現(xiàn)。
■使いやすさを追求したコンパクト設計。
● 補助ポンプをダイアフラム型ドライ真空ポンプ、またはスクロール型ドライ真空ポンプと組み合わせてフルドライの排気系を実現(xiàn)可能。
● 起動?停止に要する時間が短い。
● 不意の大気導入にも強い構造のターボ分子ポンプを採用。
（注）故意に大気導入を繰返しますと故障の原因となります。
● より低コストで高真空雰囲気を得られます。
● 三方弁の切替機能により、補助ポンプのみの単獨排気運転も可能。
● 保守點検が容易。
<TPS>タイプ
<DPS>タイプ
＊ 1. ターボ分子ポンプをベーキング?ガス出し後、ポンプヘッドでの値です。 ＊ 2. 起動時間は吸気口閉め切りでの値です。チャンバー容量により時間が異なります。 ＊ 3. 吸気口閉め切りでの値です。 ＊ 4. 補助ポンプとメインポンプ用として、別々の電源プラグ(2 本）があります。 ＊お客様の使い勝手?仕様に合わせて、各種オプション部品を組込みセットアップする特注バージョンも製作いたしま
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