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產(chǎn)品名稱:
CMP化學產(chǎn)品專用多組分濃度計
產(chǎn)品型號:
FUD-1 Model-53
產(chǎn)品廠商:
巖瀨商事
產(chǎn)品文檔:
無相關文檔
簡單介紹
CMP化學產(chǎn)品專用多組分濃度計，易于維護和高精度在線測量，但具有用于半導體制造工藝的小型單元型振蕩器。
CMP化學產(chǎn)品專用多組分濃度計
的詳細介紹
FUJI富士工業(yè) CMP化學產(chǎn)品專用多組分濃度計 FUD-1 Model-53
多組分濃度計特點
可以實時測量三種成分中兩種的濃度模擬DC4-20mA（2線）和數(shù)字RS232C是標準設備。
標準配備測量誤差輸出和報警輸出
標準配備自診斷功能和錯誤信息顯示
小型、輕量的單元型發(fā)射器可以直接安裝在生產(chǎn)線上。
優(yōu)點
可實現(xiàn)高精度連續(xù)測量
免維護，無需定期調(diào)整或校準
安裝方便，安裝過程中無需進行各種調(diào)整
通過實時輸出輕松反饋流程
目的
CMP工藝中的CMP漿料和氧化劑濃度管理等。
清洗過程中的清洗液濃度管理等（HF+HNO3、HF+H2SiF6等）
蝕刻過程中蝕刻液濃度控制（TMAH+抗蝕劑、TMAH+Si等）
